CY10濺射膜壓力傳感器芯片

CY10濺射薄膜壓力傳感器采用先進的離束濺射工藝，在彈性膜片上淀積多層薄膜，采用干法刻蝕技術將NiCr膜刻蝕成電阻橋。在流體壓力作用下，膜片變形使橋路電阻幾何尺寸和阻值發生改變,電橋輸出與壓力成比例的電信號。微電子工藝制作出的惠斯登電橋和膜片組成全金屬型敏感元件，由于無任何粘貼劑和活動部件，無密封腔和充油腔，因此具有以下特點。

1、正常工作條件下，不需作任何調整，零點輸出的長期穩定性優于±0.1%F.S/年；

2、無論是連續還是間斷通電，室溫下傳感器的零點漂移誤差優于±0.1%F.S；

3、傳感器的綜合精度（含非線性、重復性、滯后誤差）可達到0.05級、0.1級；

4、工作溫度范圍寬：常規產品-40℃～125℃，特殊產品-55℃～180℃；

5、可靠性高，平均無故障工作時間超過50000小時；

6、傳感器輸入阻抗高、功耗小、響應速度快；

7、耐濕、抗振動、抗沖擊、抗電磁與核輻射干擾；

8、彈性體和應變電阻材料都是金屬材料, 濺射工藝代替粘貼工藝, 消除了膠的影響，無蠕變、不老化、工作溫度范圍寬、溫度特性好；

9、體積小、重量輕，適合大批量組裝生產。

應用領域

軍事工業：武器及試驗系統、軍用衛星、運載火箭與發射地面支撐裝置、坦克及戰車發動機、航空發動機測試系統、艦艇、、航天器、航天飛行器飛行數據測試、彈道導彈、機載激光器壓力測量；

石化能源：油田鉆井、測井、錄井、試壓設備、油井測量儀器、近海深海石油開采平臺、天然氣、石油輸送管道、電廠、核電站、高溫地熱發電機；

高溫燃油與發動機制造：燃燒室壓力、燃油壓力控制系統、燃氣輪機和發動機測試、內燃機、壓縮機、試驗機、蒸汽等高溫高壓的壓力測量；

工程機械與液壓系統：高溫液壓系統、液壓機械、液壓泵站、壓鑄機、靜壓機等；

船舶交通：船舶制造、柴油機高壓共軌壓力測量、汽車壓力測量等；

科研與試驗：髙端設備配套、工程項目配套。

典型尺寸

技術參數

靈敏度及非線性

使用指南

1、嚴禁用手或其他物體接觸膜片表面（應變圖形），膜片表面的任何劃傷均會損壞膜片；

2、膜片電接點焊接后建議使用硅凝膠涂覆膜片表面以保護應變電橋；

3、膜片焊接后，應對傳感器組件進行機械穩定20次以上，壓力大小為量程的2倍；

4、建議對應變電阻進行電老化：供電電壓10～15VDC，＋150℃ 12小時。

相關資料

1、CY10濺射膜壓力敏感元件外形尺寸CAD圖 請點擊下載。